Изначально литография – методика нанесения изображения, в рамках которой краситель переносится на подложку при помощи гладкого «штампа». В физике и электронике под литографией часто подразумевается семейство методик производства полупроводниковых компонент.
История литографии
Идея литографической печати появилась в конце XVIII века. На тот момент технология использовалась для замены гравюры в книгопечатании.
Фотолитография
В семействе литографических методов выделяют технику фотолитографии. В качестве «чернил» в данной технике применяется свет (или электромагнитные волны ИК и УФ дапазонов), а в качестве «бумаги» (подложки) – фоторезистивный материал, изменяющий свойства при облучении. «Штамп» изготавливается из произвольного материала. В отличие от оригинальной методики литографии, где штамп имеет выпуклые области в тех местах, где необходимо обеспечить перенос чернил, в фотолитографии под штампом понимается «трафарет», имеющие оптически-прозрачные области (или отверстия) в тех местах, где необходимо экспонировать фоторезистивный материал.
При облучении фоторезистивного материала через трафарет получается требуемое изображение.