|
фотолитография
В физике фотолитография – одна из методик, применяемых для создания наноструктур. Также методика фотолитографии известна в полиграфии.
Принцип работы фотолитографии
Фотолитография основана на обычной литографии, в чем-то напоминающий принцип печатного станка. Однако здесь для «печати» по заранее приготовленному шаблону используются не специальные чернила, а свет определенной длины волны. При этом «печать» осуществляется на поверхности специального фоторезистивного материала.
Ограничения методики
Как и любая оптическая техника, фотолитография ограничена дифракционным пределом – половиной длины волны задействованного излучения. Таким образом, чем меньше длина волны используемого света, тем меньшие по размеру структуры можно создавать. В последнее время ученые начали присматриваться к альтернативным методикам, использующим принципиально другой спектральный диапазон, в частности, к электронной литографии, позволяющей схожим способом получать структуры с характерными размерами порядка 1 нм.Последние новости в разделе фотолитография
фотолитография, архив по датам
фотолитография, архив за текущий месяц
November 2024 | Mn | Tu | We | Th | Fr | Sa | Su | | | | | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | |
|
Полный архив раздела фотолитография
|
|