В физике фотолитография – одна из методик, применяемых для создания наноструктур. Также методика фотолитографии известна в полиграфии.
Принцип работы фотолитографии
Фотолитография основана на обычной литографии, в чем-то напоминающий принцип печатного станка. Однако здесь для «печати» по заранее приготовленному шаблону используются не специальные чернила, а свет определенной длины волны. При этом «печать» осуществляется на поверхности специального фоторезистивного материала.
Ограничения методики
Как и любая оптическая техника, фотолитография ограничена дифракционным пределом – половиной длины волны задействованного излучения. Таким образом, чем меньше длина волны используемого света, тем меньшие по размеру структуры можно создавать. В последнее время ученые начали присматриваться к альтернативным методикам, использующим принципиально другой спектральный диапазон, в частности, к электронной литографии, позволяющей схожим способом получать структуры с характерными размерами порядка 1 нм.
Последние новости в разделе фотолитография
25.10.2013 (23:54)
Естественные науки >> Физика Форма частиц значительно влияет на их диффузию Небольшие сферические и эллиптические частицы, плавающие в воде, как правило, подталкиваются молекулами жидкости во всех направлениях с равной вероятностью. Но в своей последней работе группа ученых из США показала, что для частицы, имеющей форму бумеранга, одно ...>>
Небольшие сферические и эллиптические частицы, плавающие в воде, как правило, подталкиваются молекулами жидкости во всех направлениях с равной вероятностью. Но в своей последней работе группа ученых из США показала, что для частицы, имеющей форму бумеранга, одно ...>>